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非接触厚さ測定装置（非接触厚み測定装置）OZUMA22
NON-CONTACT
THICKNESS MEASURING DEVICE
非接触厚さ測定装置OZUMA22資料
＜用途＞
半導体用ウエハー（各種材料）シリコンSi.GaAsガリウム砒素等、ガラス・金属・化合物等の高精度非接触厚さ測定（非接触厚み測定）
＜特徴＞
１．エアー背圧方式 により非接触厚さ測定（非接触厚み測定）が可能が可能で キズ・コンタミ等のダメージを与えない
２．膜付・色艶等 の材質依存がなく簡単に高精度の非接触厚さ測定（非接触厚み測定）が可能
３．水濡れ状態 での高精度の非接触厚さ測定（非接触厚み測定）が可能
４．鏡面・透明・半透明 でも 問題無く、高精度の非接触厚さ測定（非接触厚み測定）が可能
５．上下の測定ノズルで測定 する為 被測定物の ”ソリ” による浮き上がりに
影響されにくく ”厚さ” を正確に測定できます。
（オプションにて ”ソリ” 測定も可 (*1) ）
６．操作が簡単 なので測定や校正(*2)が非常に簡単に行なえます
＜測定原理＞
上下の測定ノズルの背圧を精密に管理してノズルと測定対象物の隙間を一定になる様にノズルを位置決めし、予め基準ゲージで校正してある値と比較演算処理を行い測定対象物の厚さを精密に求めることができます。
測定原理図
＜性能＞
分解能 0.1μｍ
繰返し精度 10回繰返し連続測定時の標準偏差(1σ) 0.3μｍ以下
測定範囲 ｍａｘ．10ｍｍ (*3)
供給ｴﾈﾙｷﾞｰ 電源 AC100V 50/60Hz 3A
クリーンエアー 0.4MPa 20NL/min. (*4)
＜基本構成＞
非接触厚さ測定装置（非接触厚み測定装置）の標準機は、次の機器がセットになっています。
① 非接触厚さ測定装置（非接触厚み測定装置）本体・・・・・・・･･････・ 1式
② 測定テーブル（載物台）・・・・別紙”テーブルの種類”から選択・・・・・・・ 1式
③ 制御ＢＯＸ（別置き型）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
④ 手元操作スイッチBOX・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
⑤ 表示器(7"ｶﾗｰ液晶ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ) 又は 計測制御用パソコン・・・・・・・・・・1式
⑥ 接続ケーブル類・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
⑦ 校正ゲージ （厚さご指定）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・1個
⑧ 計測制御用標準ソフト・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
用途に応じ 上記の他 ”オプション一覧表” から オプション品の選択が可能です。
（注）
＊１ ソリ測定は、ソリの程度やワークの剛性により測定出来ない場合がありますので
詳細は、お問合せください
＊２ 校正は、市販のブロックゲージも使用できます
＊３ 測定範囲は、標準機でmax.10mmですが オプションにて10mm以上のものも可
（但し 測定動作範囲は、10mmです）
＊４ クリーンエアーは、測定ノズルから直接被測定物に吹きかかる為エアー品質には留意してください
測定圧力は、15～20KPaです。
非接触厚さ測定装置（非接触厚み測定装置）”ＯＺＵＭＡ２２”
テーブル種類 及び オプション一覧表
＜標準機用テーブル種類＞
標準機には、測定テーブルが付属されますので次の表から1つ選択してください
| 方式年１回の検査・点検・保守を5年間継続 |
テーブル型式 |
| 固定 |
TK☆-△ |
| 手動Yﾃｰﾌﾞﾙ (前後可動) |
TMY☆-△ |
| 手動Y-θﾃｰﾌﾞﾙ (前後及び旋回±120°可動) |
TMYR☆-△ |
| 手動X-Yﾃｰﾌﾞﾙ (前後左右可動) |
TMXY☆-△ |
| 電動Yﾃｰﾌﾞﾙ (前後可動) |
TAY☆-△ |
| 電動Y-θﾃｰﾌﾞﾙ (前後及び旋回±120°可動） |
TAYR☆-△ |
| 電動X-Yﾃｰﾌﾞﾙ (前後左右可動) |
TAXY☆-△ |
| 特殊仕様 （＊Ｑ） |
TＺ |
☆サイズ形番 △材質形番
サイズ形番 ２（０．５～２”）、５（３～５”）、８（５～８”）、１２（８～１２”）
材質形番 Ａ（アルミ・アルマイト）、Ｐ（POM）、Ｅ（ＰＥＥＫ）、Ｓ（ＳＵＳ）、Ｆ（ＰＴＦＥ）、Ｊ（セラミック）、Ｑ（指定・特殊仕様）
＜オプション＞
| オプション名 |
オプション型式 |
内容 |
| 吸着テーブル |
ＶＮ.. |
上記テーブルにワークの吸着機構を付加します（＊１） |
| レーザーポインタ |
ＬＭ.. |
測定目標位置をレーザーポインタで照射 |
| 厚さ分布特性表示ｿﾌﾄ |
ＤＲ.. |
多点計測時の厚さ分布を3次元グラフ表示します |
| ソリ測定ｿﾌﾄ |
ＷＰ.. |
ソリ測定の為のハードとソフトです |
| ユーザー指定フォーマット表示 |
ＦＭ.. |
お客様ご指定のフォーマットに計測データを表示 |
| データ転送ソフト |
ＬＮ.. |
上位から測定結果を取出せる様にします |
| バーコードリーダー |
ＢＲ.. |
バーコードによるS/NやLot管理に利用できます（＊２） |
| プリンタ |
ＰＲ.. |
計測結果を印刷します |
| 極細測定ノズル |
ＳＮ.. |
MEMS等の穴底厚測定等の測定スポット径を小さくしたい場合 |
| 供給エアー調質機器セット |
ＤＡ.. |
エアドライヤ・フィルタ等調質機器1式を組み立てたものです |
| 真空発生装置 |
ＶＳ.. |
吸着機構用真空発生機器１式を組み立てたものです（＊３） |
| ＣtoＣ 自動搬送 |
ＣＺ.. |
全自動計測システムです（＊Ｑ） |
| 校正ゲージ 書類添付 |
ＧＳ.. |
検査成績書・校正証明書・トレーサビリティ証明書添付 |
| 該否判定書 |
ＥＤ.. |
輸出用該否判定書の発行 |
| 定期保守契約 |
ＭＴ.. |
年１回の検査・点検・保守を5年間継続 |
（＊１）ＶＮには、真空源は含まれません。お客様の真空ラインを使用させて頂きます。
（＊２）ＦＭが加算されます
（＊３）ＶＮが加算されます
（＊Ｑ）個別に仕様お打合せをさせて頂きます
＜非接触厚さ測定装置（非接触厚み測定装置）ＯＺＵＭＡ２２ 型式表記＞
ＯＺＵＭＡ２２－テーブル型式－オプション型式－オプション型式－・・・
（例） ＯＺＵＭＡ２２－ＴＭＹ５－Ａ－ＶＮ－ＦＭ
型式解釈→３～５”用アルミ材手動Ｙテーブルが搭載されたOZUMA22で ユーザー指定フォーマット表示・吸着機構付のもの
＜その他特殊仕様＞
上記の他特殊な仕様をご希望される場合は、お問合せください
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