非接触厚さ測定装置（非接触厚み測定装置）OZUMA22

NON-CONTACT THICKNESS MEASURING DEVICE

非接触厚さ測定装置（非接触厚み測定装置）OZUMA22資料

＜用途＞

半導体用ウエハー（各種材料）シリコンSi.GaAsガリウム砒素等、ガラス・金属・化合物等の高精度非接触厚さ測定（非接触厚み測定）

＜特徴＞

１．エアー背圧方式　により非接触厚さ測定（非接触厚み測定）が可能が可能で　キズ・コンタミ等のダメージを与えない
２．膜付・色艶等　の材質依存がなく簡単に高精度の非接触厚さ測定（非接触厚み測定）が可能
３．水濡れ状態　での高精度の非接触厚さ測定（非接触厚み測定）が可能
４．鏡面・透明・半透明　でも　問題無く、高精度の非接触厚さ測定（非接触厚み測定）が可能
５．上下の測定ノズルで測定　する為　被測定物の　”ソリ”　による浮き上がりに
　 　影響されにくく　”厚さ”　を正確に測定できます。
　　（オプションにて　”ソリ”　測定も可　(*1)　）
６．操作が簡単　なので測定や校正(*2)が非常に簡単に行なえます

＜測定原理＞

上下の測定ノズルの背圧を精密に管理してノズルと測定対象物の隙間を一定になる様にノズルを位置決めし、予め基準ゲージで校正してある値と比較演算処理を行い測定対象物の厚さを精密に求めることができます。

測定原理図

＜性能＞

　　分解能　　　 　 0.1μｍ
　　繰返し精度　　10回繰返し連続測定時の標準偏差(1σ)　0.3μｍ以下
　　測定範囲　　 　ｍａｘ．10ｍｍ　(*3)
　　供給ｴﾈﾙｷﾞｰ 　電源　AC100V　50/60Hz　3A
　　　　　　　　　　　 クリーンエアー　　0.4MPa　　20NL/min.　　　(*4)


＜基本構成＞
非接触厚さ測定装置（非接触厚み測定装置）の標準機は、次の機器がセットになっています。
�@　非接触厚さ測定装置（非接触厚み測定装置）本体・・・・・・・･･････・　1式
�A　測定テーブル（載物台）・・・・別紙”テーブルの種類”から選択・・・・・・・　1式
�B　制御ＢＯＸ（別置き型）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・　1式
�C　手元操作スイッチBOX・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・　1式

�D　表示器(7"ｶﾗｰ液晶ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ)　又は　計測制御用パソコン・・・・・・・・・・1式
�E　接続ケーブル類・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・　1式
�F　校正ゲージ　（厚さご指定）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・1個
�G　計測制御用標準ソフト・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・　1式
用途に応じ　上記の他　　”オプション一覧表”　から　オプション品の選択が可能です。　

（注）

＊１　ソリ測定は、ソリの程度やワークの剛性により測定出来ない場合がありますので　
　　　　詳細は、お問合せください
＊２　校正は、市販のブロックゲージも使用できます
＊３　測定範囲は、標準機でmax.10mmですが　オプションにて10mm以上のものも可
　　　　（但し　測定動作範囲は、10mmです）
＊４　クリーンエアーは、測定ノズルから直接被測定物に吹きかかる為エアー品質には留意してください
　　 　測定圧力は、15〜20KPaです。

非接触厚さ測定装置（非接触厚み測定装置）”ＯＺＵＭＡ２２”　

テーブル種類　及び　オプション一覧表

＜標準機用テーブル種類＞

標準機には、測定テーブルが付属されますので次の表から1つ選択してください

☆サイズ形番　　△材質形番

サイズ形番　　２（０．５〜２”）、５（３〜５”）、８（５〜８”）、１２（８〜１２”）
材質形番　　Ａ（アルミ・アルマイト）、Ｐ（POM）、Ｅ（ＰＥＥＫ）、Ｓ（ＳＵＳ）、Ｆ（ＰＴＦＥ）、Ｊ（セラミック）、Ｑ（指定・特殊仕様）

＜オプション＞

（＊１）ＶＮには、真空源は含まれません。お客様の真空ラインを使用させて頂きます。
（＊２）ＦＭが加算されます
（＊３）ＶＮが加算されます
（＊Ｑ）個別に仕様お打合せをさせて頂きます

＜非接触厚さ測定装置（非接触厚み測定装置）ＯＺＵＭＡ２２　型式表記＞

　　　ＯＺＵＭＡ２２−テーブル型式−オプション型式−オプション型式−・・・

　　　（例）　ＯＺＵＭＡ２２−ＴＭＹ５−Ａ−ＶＮ−ＦＭ

　　　型式解釈→３〜５”用アルミ材手動Ｙテーブルが搭載されたOZUMA22で　ユーザー指定フォーマット表示・吸着機構付のもの　　

＜その他特殊仕様＞

　　　上記の他特殊な非接触厚さ測定装置（非接触厚み測定装置）ＯＺＵＭＡ２２仕様をご希望される場合は、お問合せください

NON-CONTACT THICKNESS MEASURING DEVICE

非接触厚さ測定装置（非接触厚み測定装置）

営業品目(部品加工・機械装置)

マシニング加工・フライス加工 NC旋盤加工・汎用旋盤加工 アーク溶接加工・アルゴン溶接加工 放電加工 ワイヤーカット加工 スロッター加工 ブローチ加工 カム盤加工、ギヤ歯切加工 焼入れ 高周波焼入れ 真空焼入れ 粉体冶金・焼結 円筒研磨加工・平面研磨加工 治具研磨加工 電解研磨加工 バフ研磨加工 ラッピング加工・ラップ加工 各種塗装 レーザー加工 精密板金加工 製缶加工 ホーニング加工 パイプ曲げ加工 深穴あけ（BT)加工 ウォータージェット加工 プレーナー加工 セーパー加工 脱脂処理 各種鍍金処理 ブロンズ盛り 高速マシニング加工 プレス加工,プレス金型 プラスチック金型設計・製作・成型 へら絞り加工 機械彫刻加工 エッチング加工 シルク印刷,スクリーン印刷 ゲージ加工 バネ加工 ロストワックス 超硬・セラミック加工 セラミック溶射 ガラス（石英ガラス、サファイアガラス等）スクリュー加工、スパイラル加工、二条ネジ加工 付加軸（A軸）加工 超精密細穴放電加工 セラミックボルト加工、セラミックナット加工 レーザーYag溶接加工 非接触厚さ測定装置（非接触厚み測定装置） 真空吸着ツールスタンド ASTM規格衝撃振動試験機 ベルヌーイの定理による非接触搬送 自動車部品複合荷重（負荷）耐久試験装置 普通旋盤加工 単品部品加工

研究開発分野 　以下の技術でもお客様の研究開発のお手伝いをさせていただいております。

機械・機構設計（一般・精密・超精密）衝撃振動試験機設計 ASTM規格(ASTM standard, The impulsive vibration testing machine for automobile headlamps.) 自動車部品荷重耐久試験装置 （試験機）落下試験機 設計 金型設計（プラスチック・金属プレス）試験・計測機器装置設計 回転機器設計 配管設計（鋼管、SUS管、プラスチック管、ガス・薬液・クリーン）制御設計（一般電機・電子制御、油空圧制御、油圧・空圧・電機サーボ）油空圧回路及び機器装置設計 半導体・液晶関連装置設計 食品関連装置設計 流体制御機器設計 薬液ハンドリング設計 ガスハンドリング設計 クリーン対応機器・装置設計 真空対応機器設計 密封容器・圧力容器設計 バイオ・医療・薬品用機器装置設計 熱機器・装置設計 電子機器・回路設計（アナログ、デジタル、高周波） 磁気回路設計 搬送装置設計 助力装置設計 治工具設計 福祉機器設計・運動機器設計、非接触厚さ測定装置（非接触厚み測定装置）

　お問い合わせ

　佐々木工機株式会社　　

TOP

〒213-0006 神奈川県 川崎市 高津区 下野毛 1-9-33

金属部品加工（マシニングセンター加工、NC旋盤加工、NCフライス加工、汎用旋盤加工、放電加工、溶接加工）、自動化・省力化機械装置設計製作、非接触厚さ測定装置（非接触厚み測定装置） 、ASTM規格衝撃振動試験機、真空吸着ツールスタンド（マグネットスタンド代替）、自動車部品荷重耐久試験機、Eco-fix用ワーク固定治具（エアフィックス Air-fix 22B1)、三角生爪・四角生爪